Glavna komponenta analizatora vlažnosti i kisika je senzor kisika od cirkonijevog oksida. Ovaj senzor koristi elektrolitička svojstva cirkonijeve oksidne keramike za stvaranje elektromotorne sile na temelju razlike parcijalnog tlaka kisika na senzoru, čime se omogućuje mjerenje koncentracije kisika. Istovremeno se koriste specifične tehnike mjerenja (kao što je metoda impedancije, infracrvena metoda, itd.) za točno određivanje sadržaja vlage u plinu. Senzor obično uključuje grijaći uređaj za sprječavanje kondenzacije vodene pare u plinskoj komori, osiguravajući stabilna mjerenja u okruženjima visoke-temperature i visoke-vlažnosti.
